[뉴스케이프 정석동 기자] 산업부는 지난해 7월 일본 정부의 수출규제 조치 이후 핵심 소재‧부품‧장비에 대한 공급 안정화를 위해 글로벌 기업인 듀폰社와 직접 접촉하여 투자유치를 협의해 왔다. (사진=뉴스케이프)

미국의 글로벌 화학 소재기업인 ‘듀폰(DuPont)’사는 한국에 반도체 소재 EUV용 ‘포토레지스트’ 한국 투자를 최종 확정했다. 투자 금액은 약 2,800만 달러이다. 

성윤모 산업통상자원부 장관은 8일(미국 현지시각) 미 듀폰사의 존 캠프 사장을 만나 이 같이 확정했다고 밝혔다. 

이날 성윤모 장관이 임석한 가운데 장상현 코트라 인베스트 코리아(KOTRA Invest Korea)대표에게 이번 투자와 관련, 2800만 달러의 투자신고서를 제출하고, 양측은 한국 투자가 차질 없이 진행되도록 협력해 나가기로 합의했다. 

듀폰사는 2020~2021년 충남 천안에 2800만 달러를 투자해 EUV용 포토레지스트 투자를 하고, 이 제품에 대한 개발과 생산, CMP패드 생산을 할 예정이다. 

포토레지스트 개발 생산은 웨이퍼(기판)위에 패턴을 형성하는 포토 리소그래피 공정에서 사용되는 감광성 재료. 파장이 짧을수록 미세화 공정에 적용 가능하며, CMP패드는 반도체 웨이퍼 표면을 화학적, 기계적 방법으로 연마하여 평탄화하는 과정에 사용되는 패드로 듀폰은 CMP 분야 세계시장 80% 이상의 점유율을 가진 선두업체로 이번 투자로 수입대체 효과 및 국내 CMP 원재료 생태계 강화 기대된다. 

듀폰사는 한국 내 자회사인 롬엔드하스전자재료코리아(유)를 통해 지난 1998년부터 천안에 2개의 공장을 가동하여 반도체 회로기판용 소재·부품을 생산해왔다. 듀폰사에서 생산하는 제품으로 KrF(불화크립톤), ArF(불화아르곤) 포토레지스트, 빛 반사 방지막제, 금속박막도금, 유전체, 클리닝 화학제품 등이 있다.

이번 투자는 듀폰사가 반도체 극소형화에 필요한 차세대 제품·기술 개발 및 공급 다변화 요구에 부응하고, EUV용 포토레지스트 등 점차 성장 중인 시장에 선제적으로 대응하기 위한 것이다. 

산업부는 지난해 7월 일본 정부의 수출규제 조치 이후 핵심 소재‧부품‧장비에 대한 공급 안정화를 위해 글로벌 기업인 듀폰社와 직접 접촉하여 투자유치를 협의해 왔다. 

이 과정에서 정부-지자체-KOTRA가 한 팀으로 듀폰사와 투자협상을 적극 진행하여 경쟁국을 제치고 한국이 최종 투자처로 선정됐다. 

이번 투자와 관련, 정부는 투자 부지의 외국인투자지역 지정 및 임대료 감면 등의 인센티브를 제공할 예정이다. 

이번 듀폰의 한국 투자의 의미는 EUV용 포토레지스트는 현재 주로 일본으로부터 수입에 의존하고 있으나, 이번 투자유치를 통해 미국, EU 기업으로 동 품목의 공급선을 다변화 하는데 기여할 수 있다는 점에서 의의가 매우 크며, 이번 투자를 통해 국내기업과의 상생협력 및 소재‧부품‧장비 산업경쟁력 강화에 기여할 것으로 기대된다. 

한편, 존 켐프 듀폰 사장은 투자신고서를 제출하는 자리에서 “EUV용 포토레지스트 개발･생산을 위해 앞으로 한국 내 주요 수요업체와 제품 실증테스트를 진행하는 등 긴밀히 협력해 나갈 계획”이라고 밝혔다.